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產(chǎn)品說明 |
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SX1934型四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）測試專用儀器。
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儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件，采用旋扭式開關(guān)控制，及各種工作狀態(tài) LED 指示。應(yīng)用微計(jì)算機(jī)技術(shù)，使得測量讀數(shù)更加直觀、快速。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。 |
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| SX1934四探針測試儀可滿足半導(dǎo)體材料、器件的研究生產(chǎn)單位對材料（棒材、片材、塊狀）電阻率及擴(kuò)散層、離子注入層、異型外延層和導(dǎo)電薄膜方塊電阻測量的需要。 |
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產(chǎn)品外觀 |
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附件說明 |
| 1、探頭 |
| SX系列四探針探頭是采用綜合性能優(yōu)異的電鍍鋼、機(jī)械結(jié)構(gòu)優(yōu)良彈簧片、耐磨和硬度高的探針研制的測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、可靠、準(zhǔn)確度高、耐用性能好四探針探頭。所有技術(shù)指標(biāo)符合國家標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)規(guī)定。 |
| * 由于采用了綜合性能優(yōu)異的電鍍鋼四探針探頭有如下特點(diǎn)： |
| ① 耐腐蝕，除氧化性介質(zhì)外，可以耐幾乎所有的無機(jī)物質(zhì)腐蝕； |
| ② 低吸濕，在23℃水中經(jīng)24小時(shí)浸泡后吸水率小于0．05％； |
| ③ 阻燃性好，其氧指數(shù)大于40，為UV—94V—00／5—V級； |
| ④ 耐高溫，長期使用溫度100℃； |
| * 技術(shù)參數(shù)： |
| ① 探針間距：1±0.010mm； |
| ② 探針材料：高速鋼或碳化鎢； |
| ③ 探針壓力：5～8牛頓或12～16牛頓； |
| ④ 探針機(jī)械游移率：小于1%； |
| ⑤ 探針伸出的長度：2mm； |
| ⑥ 針尖錐體夾角：60°； |
| ⑦ 針間絕緣電阻：大于109Ω； |
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2、測試架
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| *.專為實(shí)驗(yàn)室使用而制作的。該測試臺設(shè)計(jì)別致、操作簡易、重量輕、并有微調(diào)手輪，便于探針與樣品的精確接觸。 |
| *.載物臺：方盤220mm×230mm,帶刻度線，便于準(zhǔn)確定位，圓盤φ15—100mm |
| *.有效行程：40mm； 重量：3kg |
| *.粗調(diào)手輪：20mm/圈。 |
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詳細(xì)參數(shù) |
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電阻率：10-4—105Ω.cm（可擴(kuò)展）；方塊電阻（薄層電阻）：10-3—104Ω/□；
電阻：10-6—105Ω
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可測晶片直徑（最大） |
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電流量程分為0.01、0.1、1、10、100（mA）五檔，
各檔電流連續(xù)可調(diào)
誤差≤±0.5%。
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量程：0.2mV；2mV；20mV；200mV；2V
最大分辨率：0.1μV
顯示：三位半數(shù)字顯示；極性、過載自動(dòng)顯示；小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示
輸入阻抗：0.2mV和2mV量程：＞106Ω；其它量程：＞108Ω
精度：±0.5%。
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最大電阻測量誤差（按JJG508-87進(jìn)行）:0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.5%讀數(shù)±2個(gè)字
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間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻≥1000MΩ；機(jī)械游移率:≤1.0%
探針壓力：TZT-9A/9B: 12-16牛頓（總力）TZT-9C/9D 5-8 牛頓（總力）
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用硅標(biāo)樣片測試)≤5% （0.01-180Ω.cm |
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測試環(huán)境
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溫度23±2℃；相對濕度≤65％；無高頻干擾；無強(qiáng)光照射 |
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220V±10%（50Hz）
功耗：≤35W |
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